Найбільший виробник літографічного обладнання ASML Holding NV та корпорація Intel оголосили про новий етап стратегічного співробітництва. Він передбачає постачання з 2025 року виробничих машин для EUV-літографії під назвою Twinscan EXE: 5200.
Установка для фотолітографії в екстремальному ультрафіолеті Twinscan EXE:5200 має високу числову апертуру 0,55 (high-NA) та продуктивність понад 200 пластин на годину. Така апертура забезпечує подальше зменшення розмірів елементів на кремнієвій пластині. Нові машини відкривають шлях до техпроцесів 2-нм класу, відомих під комерційною назвою Intel 20A та 18A.
На цей час голландська компанія ASML є монополістом на ринку обладнання фотолітографії з безумовною технічною перевагою над конкурентами. Установки Twinscan EXE:5000 або EXE:5200 мають великі розміри, вагу близько двохсот тонн та приблизну вартість понад $300 млн за штуку. Це робить фотолітографічні машини одними з найдорожчих промислових приладів у світі.
Джерело:
ASML